අයිතම අංකය: FTP-100 මානයන්: 362*120*320මි.මී. ආදාන පීඩනය: 0.1~0.4MPa සේදීමේ ක්රමය: ස්වයංක්රීය ෆ්ලෂ් ශ්රේණිගත බලය: 57.6W පෙරීමේ නිරවද්යතාවය: 0.0001 මයික්රෝන පෙරහන කවුන්ටරය යටතේ ස්ථාපන ක්රමය